失效分析測試需要做哪些準備呢
常用的失效分析方法有很多,例入Decap,X-RAY,IV,EMMI,FIB,SEM,EDX,Probe,OM,RIE等,不過失效分析的設備相對比較昂貴,很多的單位無法配備完整的設備,因此借用第三方檢測機構來完成也是不錯的選擇。那么做測試的時候需要準備那些信息呢?

失效分析樣品準備:失效分析是芯片測試重要環節,無論對于量產樣品還是設計環節亦或是客退品,失效分析可以幫助降低成本,縮短周期。
以下以幾種分析方式做為舉例,簡單講解以下需要做準備的信息:
一、SEM:
寫清樣品尺寸,材質,導電性是否良好,若尺寸較大需要事先裁剪。一般樣品臺1-3cm左右,太大的樣品放不進去,也影像定位,導電性好的樣品分析較快,導電性不好的,需要輔助措施才能較好的分析。
1.材料表面形貌分析,微區形貌觀察
2.材料形狀、大小、表面、斷面、粒徑分布分析
3.薄膜樣品表面形貌觀察、薄膜粗糙度及膜厚分析
4.納米尺寸量測及標示
二、EDX:
寫清樣品尺寸,材質,EDX是定性分析,能看到樣品的材質和大概比例,適合金屬元素分析。
1.微區成分定性分析
三、FIB:
寫清樣品尺寸,材質,導電性是否良好,若尺寸較大需要事先裁剪。一般樣品臺1-3cm左右,太大的樣品放不進去,也影像定位,導電性好的樣品分析較快,導電性不好的,需要輔助措施才能較好的分析。切點觀察的,標清切點要求。切線連線寫清方案,發定位文件。
1.芯片電路修改和布局驗證
2.Cross-Section截面分析
3.Probing Pad
4.定點切割
四、X-RAY:
寫清樣品尺寸,數量,材質(密度大的可以看到,密度小的直接穿透),重點觀察區域,精度。
1.觀測DIP、SOP、QFP、QFN、BGA、Flipchip等不同封裝的半導體、電阻、電容等電子元器件以及小型PCB印刷電路板
2.觀測器件內部芯片大小、數量、疊die、綁線情況
3.觀測芯片crack、點膠不均、斷線、搭線、內部氣泡等封裝缺陷,以及焊錫球冷焊、虛焊等焊接缺陷
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